Unidade de bomba de vácuo de parafuso Roots

Unidade de bomba de vácuo de parafuso Roots para fabricação de semicondutores

A unidade de bomba de vácuo de parafuso Roots consiste em uma bomba de vácuo Roots e uma bomba de vácuo de parafuso, que são conectadas em série para realizar uma função de bombeamento eficiente, e é um dos equipamentos importantes para a produção industrial e experimentos de pesquisa científica.

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Descrição

A unidade de bomba de vácuo de parafuso Roots combina os pontos fortes das bombas Roots e das bombas de parafuso, oferecendo uma solução de vácuo limpa, eficiente e sem óleo para aplicações industriais e laboratoriais exigentes. Com um design de vedação com folga e sem óleo lubrificante, essas bombas mantêm alta pureza e desempenho excepcional durante toda a operação.

Princípio de funcionamento da unidade de bomba de vácuo Roots Screw

  • Bomba de vácuo de parafuso (pré-estágio):Funciona como bomba de pré-estágio, proporcionando altas taxas de bombeamento e baixa pressão de exaustão. A compressão mecânica por meio de espaços precisos entre os parafusos garante uma operação eficiente, com baixo ruído e baixa vibração.
  • Bomba de vácuo Roots (principal/intermediária):Rotores duplos girando sincronizadamente transferem o gás de exaustão da câmara de sucção para a câmara de exaustão. A vedação de folga evita a contaminação por óleo, mantendo um ambiente de vácuo limpo.
  • Operação em série:Ambas as bombas funcionam em série, com a bomba de parafuso aumentando o nível de vácuo e a bomba Roots garantindo uma eficiência de bombeamento estável e contínua.

Vantagens de desempenho

  1. Economia de energia:A relação otimizada entre a velocidade de bombeamento e o grau de vácuo reduz o consumo de energia, superando os sistemas de vácuo tradicionais em termos de eficiência energética.
  2. Alta eficiência:Alcança mais de 90% de eficiência de bombeamento, proporcionando altos níveis de vácuo com baixo consumo de energia para vários processos.
  3. Proteção de segurança:Sistema de controle avançado com proteção contra sobrecarga, sobrecorrente e corte de água, além de partida/parada automática, garante estabilidade a longo prazo.
  4. Design compacto:A estrutura vertical empilhável ou em escada minimiza o espaço ocupado, sendo ideal para fábricas e laboratórios com espaço limitado.
  5. Configuração flexível:Relação de velocidade de bombeamento ajustável entre as bombas (1:2 a 1:8) para se adaptar a diversos requisitos de trabalho.
  6. Desempenho anticorrosão:As superfícies de transbordamento são tratadas ou fabricadas com materiais resistentes à corrosão, adequados para a extração de gases corrosivos e operação em ambientes adversos.

Campos de aplicação

  • Indústria química:Extração de solventes orgânicos voláteis, gases e para uso em reatores a vácuo — amplamente utilizado em processos químicos e farmacêuticos.
  • Fabricação de semicondutores:Suporta processos de deposição a vácuo, limpeza e gravação.
  • Indústria alimentícia:Essencial para processos de embalagem, desidratação e secagem a vácuo de alimentos.
  • Indústria metalúrgica:Extrai gás em fornos metalúrgicos e laboratórios para estabilizar processos de fusão.
  • Laboratório e pesquisa científica:Ideal para experiências a vácuo e recuperação de gás em ambientes científicos.
  • Indústria eletrônica:Utilizado na fabricação de circuitos integrados, revestimento a vácuo de telas e outros processos de fabricação de eletrônicos.